Наиболее эффективным обеззараживающим средством является высокая температура. Поэтому насыщенный пар является идеальным выбором. Чистый пар испаряется при температуре более 100° Цельсия. В основном используется для стерилизации первичной упаковки стерильных медицинских препаратов, продуктов в стерилизаторах и автоклавах или производственных компонентов, контактирующих с продуктом. Чистый пар также часто требуется для контролируемого увлажнения воздуха в чистых помещениях. Конденсат Чистого пара должен удовлетворять тем же требованиям, что и Вода для инъекций, в отношении TOC, проводимости и бактериальной нагрузки в соответствии с Фармакопеей США. Особые требования в отношении неконденсируемых газов, сухости и перегрева изложены в EN 285 для пара, используемого для стерилизации в автоклавах.